Canon: Očekuje se da će tehnologija nanoimprintiranja proizvoditi 2nm poluvodiča
Japanska korporacija Canon najavila je 13. listopada pokretanje FPA-1200NZ2C NanoiMprint (NIL) za proizvodnju poluvodiča.Izvršni direktor Canona Fujio Mitarai izjavio je da će nova tehnologija nanoimprintinga tvrtke utrti put malim proizvođačima poluvodiča za proizvodnju naprednih čipova, a ova je tehnologija trenutno gotovo u cijelosti u potpunosti u vlasništvu najvećih kompanija u industriji.
Objašnjavajući tehnologiju nanoimprintinga, Iwamoto Kazunori, šef poslovanja s kanonskim poluvodičkim opremom, izjavio je da tehnologija nanoimprintiranja uključuje utiskivanje maske s dijagramom kruga poluvodiča na vafelj.Utiskivanjem samo jednom na rezinu, složeni dvodimenzionalni ili trodimenzionalni krugovi mogu se formirati u odgovarajućem položaju.Ako je maska poboljšana, mogu se proizvesti čak i proizvodi s širinom linije od 2NM.Trenutno Canonova NIL tehnologija omogućuje minimalnoj širini linije uzorka da odgovara logičkom poluvodiču čvora 5nm.
Navodi se da industrija proizvodne opreme za proizvodnju čipova 5nm dominira ASML, a Canonovu metodu nanoimprintiranja može pomoći sužavanju jaza.
U pogledu troškova opreme, Iwamoto i Takashi izjavili su da troškovi kupaca razlikuju ovisno o uvjetima, a procjenjuje se da se troškovi potrebni za jedan postupak litografije ponekad mogu smanjiti na polovicu tradicionalne litografske opreme.Smanjenje razmjera opreme za nanoimprinti također olakšava uvođenje aplikacija poput istraživanja i razvoja.Izvršni direktor Canona Fujio Mitarai izjavio je da će cijena proizvoda tvrtke nanoimprinting biti jednazna niža od ASML -ove EUV (ekstremne ultraljubičaste) opreme, ali konačna odluka o cijenama još nije donesena.
Navodi se da je Canon primio mnoge upita od proizvođača poluvodiča, sveučilišta i istraživačkih instituta u vezi s njegovim kupcima.Kao alternativni proizvod opreme EUV -a, predviđa se oprema za nanoimprinting.Ovaj se uređaj može koristiti za razne poluvodičke aplikacije kao što su flash memorija, osobna računalna drama i logika.